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紫外離軸拋物面反射鏡（OAP） 增強型金屬鍍膜可在深紫外（DUV）和可見光譜范圍內實現高反射率 設計波長 190nm 表面粗糙度 50Å RMS
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TECHSPEC®紫外離軸拋物面反射鏡的增強型金屬鍍膜可在深紫外（DUV）和可見光譜范圍內實現高反射率；設計波長 190nm；表面粗糙度 50Å RMS。